根据中国直线电机行业和国内直线电机产业发展分析,认为目前主要的直线电机组合方式有以下三种:1.高精密直线电机单轴平台 单轴通常作为X轴使用,CCTL直线电机平台采用日本原装THK-P级直线导轨搭配英国Renishaw光栅尺及以色列servotronix驱动器并配有限位开关等高端进口部件,性能稳定可靠,噪音少,寿命长。主要用于半导体、电子生产、研磨类机床、医疗、工具机、印刷、激光焊接行业等行业,如晶圆检测与探测、半导体固晶机、半导体金线焊线机、高速取放与传送设备、激光切割、激光雕刻、激光打标、3D打印设备、LCD/TFT生产与检测平台等。 2.高精密XY轴十字直线电机平台 X轴(上)与Y轴(下)组合精度高,均采用高端进口零部件。直线电机模组的高加速度、高速度、高精度的优势在本平台上得以体现,同时电机线圈与磁轨为无接触运行、无磨损、无反向间隙,所以其维护要求极低。 在微米工程等级的应用以及晶圆设备中尤其重视绝对精度及洁净室适用性,采用高精度XY直线电机平台为最佳选择。3.XYZ龙门直线电机平台 龙门平台采用直线电机驱动和双轴同步控制技术,具有高加速度、高速度、高稳定性和高可靠性等特点。广泛应用于高速测试、激光切割、激光雕刻、高速准确取放、自动化装配、图像检测、点胶机与包装等装置。
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